合肥某高能激光研究所实验室万级净化工程案例

项目基本信息
项目名称：合肥某激光技术研究所超净实验室新建项目
项目地点：合肥高新区
客户名称：合肥XX光电技术研究所
项目周期：2024年3月-2024年11月（总工期240天）

研究所实验室

项目背景
研究所建设高能激光研发平台，需满足极端环境实验要求：

光学实验区洁净度ISO Class 6（千级），0.1μm颗粒≤35,200颗/m³
温湿度控制：23℃±0.1℃、30%RH±2%（激光器装配区）
微振动控制：振动速度≤0.8μm/s（光学平台区）
电磁屏蔽：30MHz-1GHz频段衰减≥60dB

核心工程技术
超净环境系统

采用MAU+FFU群控方案，配置U15级ULPA过滤器（99.9995%效率）
集成化学过滤模块（AMC控制），有机酸浓度≤0.5ppb

精密环境控制

应用双冷源深度除湿机组，湿度波动±1%RH（@露点-40℃工况）
光学平台安装主动式气浮隔振系统，振动频谱密度≤1μm/(s·√Hz)

光学实验区

电磁防护体系

墙体植入双层铜网屏蔽层，接地点间距≤1.5m
线缆通道设置波导管滤波器，传导干扰≤35dBμV

智能监控平台

部署数字孪生管理系统，实时调控8类环境参数
实验区设置UWB定位系统，人员违规闯入响应＜0.3秒

技术突破
激光光路微粒干扰
挑战：0.3μm颗粒导致光束散射损耗＞2%
对策：研发纳米纤维驻极体过滤器，0.1μm颗粒捕集效率99.999%
高精度温场稳定
对策：在光学平台底部铺设液冷恒温板，温度梯度≤0.05℃/m
多设备电磁兼容
设计分区独立接地系统，地线阻抗≤0.1Ω

项目成果
通过CNAS实验室认证（环境参数达标率100%）
激光器输出功率稳定性从±3%提升至±0.15%
年综合能耗降低48%，光伏供电占比达40%

客户评价
"净化工程团队攻克了百瓦级激光器洁净环境控制难题，实验数据复现性达99.7%"