超高效过滤器

超高效过滤器 极限洁净空间的纳米卫士

当半导体光刻工艺面临0.1μm微粒缺陷、细胞治疗实验室遭受外泌体污染时，传统HEPA过滤器已触及性能边界。超高效过滤器（ULPA Filter） 凭借纳米纤维复合技术与极限密封工艺，对≥0.12μm微粒拦截效率达99.9995%以上，为ISO 1-3级洁净空间提供终极空气防护。

超高效过滤器

三项核心技术突破

▌ 纳米驻极体滤层
0.08μm超细玻纤+PTFE纳米纤维复合滤材，经高压静电驻极处理，对0.12μm微粒（MPPS点）效率达U17级（99.9997%@ISO 29463）

▌ 零泄漏框体结构
6063-T6航空铝外框配合激光切割密封槽，聚氨酯双重浇注工艺实现＜0.001%泄漏率（IEST RP-CC007.1 Class 10）

▌ 静电中和系统
内置碳纳米管电离层（可选装），消除滤芯表面静电荷积累，防止亚微米粒子二次扬起

行业痛点解决方案

权威性能数据（第三方检测）

核心参数（U17标准款）

参数	技术指标
效率等级	U15/U16/U17（ISO 29463-1）
MPPS效率	99.9997%@0.12μm（U17级）
初阻力	≤250Pa（@0.45m/s）
耐温范围	-50℃~120℃（恒湿环境）
外框材质	阳极氧化航空铝/316L不锈钢
密封方式	聚氨酯双道灌封+氟橡胶垫片
尘埃容量	＞400g（IEST标准测试）
认证标准	IEST-RP-CC034.3 / ISO 14644-1

超高效过滤器

五大不可替代价值

✔ 缺陷率直降90%
晶圆厂实测数据：安装后光刻区缺陷密度从0.03/cm²降至0.003/cm²（SEMI F21标准）

✔ 能耗优化20%
超薄滤层设计（较传统ULPA薄40%）降低系统压损，千级洁净室年省电费超18万元

✔ 终身免检密封
专利激光焊接框架通过10万次风压振动测试，杜绝检漏维护成本

✔ 无化学涂层污染
物理拦截机理避免纳米银/光催化材料脱落风险，符合SEMI F72洁净度要求

✔ 全球合规保障
满足EIA-748 EVMS航天电子装配标准、EU GMP Annex 1 Grade A条款